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プロフィール

Profile

氏名柳生 裕聖
職位教授
メールyagyu*
*=@kanto-gakuin.ac.jp
担当科目生産管理、材料評価工学Ⅰ、機械材料、機械実験Ⅱ、プロジェクトⅠ・Ⅱ 他
専門分野材料加工学/シミュレーション工学/マイクロシステム工学
所属


研究室名
材料加工プロセス研究室
研究


テーマ
材料加工学、シミュレーション工学、MEMS 他

研究室の概要

Outline

高機能でコンパクトな化学分析装置や医療用デバイスを実現可能な技術であるMEMS(メムス:微小電気機械システム)に応用できる材料や加工技術とMEMS技術を用いた材料創造技術を研究しています。
特にMEMS加工技術を用いてガラス基板に数百μmの流路を形成したマイクロ流体デバイスを用いたナノ材料の合成技術の研究をおこなっています。また、レーザー加工、砥粒加工などの材料・加工プロセスのシミュレーションを実施しています。

さらにMEMSにおけるレジスト材料などの高分子材料のメソ領域の材料特性に注目し、その特性のマイクロシステムへの応用を目指しています。

研究の一例

research

微細流路を有するマイクロ流体デバイスは化学合成、化学分析を高効率に実施できることが知られています。本研究では半導体微細加工技術により、ガラス基板上に微細な流路を形成したガラス製マイクロ流体デバイスを設計・作製し、そのデバイスを用いて金属ナノ粒子を高効率に合成するプロセスを研究しています。

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